【摘 要】
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针对高分子光波导制造工艺中波导芯厚度的均匀性难以控制，以及材料较大的折射率各向异性引起的偏振态依赖性的实际问题，提出了采用抗波导芯厚度误差、抗偏振变动的宽带波导耦合
【机 构】
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上海理工大学光电学院,霓塔光电器件上海有限公司,日本东京农工大学工学部应用化学系
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针对高分子光波导制造工艺中波导芯厚度的均匀性难以控制，以及材料较大的折射率各向异性引起的偏振态依赖性的实际问题，提出了采用抗波导芯厚度误差、抗偏振变动的宽带波导耦合器回路结构的解决方案，并给出了优化设计的理论和方法。在实测了含氟聚酰亚胺薄膜的色散特性的基础上，采用该方法做了中心波长为1550nm、带宽为120nm的3dB含氟聚酰亚胺波导耦合器设计，该器件的三维BPM仿真运行结果表明，在上述带宽上，波导芯厚度变动在7～8μm的范围内，两个正交偏振态均可实现(50±1．0)％功率输出比的良好特性。
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