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采用常规的真空蒸发镀膜技术,利用自行设计制作的膜厚修正挡板机构,分别在lcm×3cm的条形K9玻璃基底和Si基底上镀制出了波长渐变滤光片.滤光片的波段范围从可见光区直至中红外区.阐述了波长渐变滤光片的镀制工艺及其结果,分析了在实际镀制中膜厚偏差产生的原因,提出了修正系统偏差的可行性方法.
波长渐变滤光片的镀制
【摘 要】
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采用常规的真空蒸发镀膜技术,利用自行设计制作的膜厚修正挡板机构,分别在lcm×3cm的条形K9玻璃基底和Si基底上镀制出了波长渐变滤光片.滤光片的波段范围从可见光区直至中红
【机 构】
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兰州空间技术物理研究所表面工程技术国防科技重点实验室
【出 处】
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光学技术
【发表日期】
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2004年期
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