【摘 要】
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本文利用传热学理论和数值计算方法讨论了新型恒温CMOS集成流量传感器与流体进行热交换的传热特性。通过计算初步得出了该传感器的响应时间、静差等特性与某些参数(芯片封装
【机 构】
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南京工学院微电子中心,南京工学院微电子中心,南京工学院微电子中心,南京工学院微电子中心
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本文利用传热学理论和数值计算方法讨论了新型恒温CMOS集成流量传感器与流体进行热交换的传热特性。通过计算初步得出了该传感器的响应时间、静差等特性与某些参数(芯片封装热阻R_T、放大倍数K等)的关系为设计高性能的流量传感器提供了一定的理论基础。
In this paper, the heat transfer characteristics of the new constant temperature CMOS integrated flow sensor for heat exchange with fluid are discussed by using the theory of heat transfer and numerical calculation. The relationship between the sensor response time, static error and some parameters (the chip package thermal resistance R_T, magnification K, etc.) is obtained through calculation. It provides a theoretical basis for the design of high performance flow sensor.
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