【摘 要】
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采用原子层沉积法成功制备出了大小均匀、形貌规则、晶体质量较好的ZnO纳米管,利用扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)等对样品表面形貌和物相进行分析,
【基金项目】
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2018年华南理工大学第五批“探索性实验”资助项目(Y9180400);2018年华南理工大学“国家级大学生创新创业训练计划”资助项目(Y9180210)
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采用原子层沉积法成功制备出了大小均匀、形貌规则、晶体质量较好的ZnO纳米管,利用扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)等对样品表面形貌和物相进行分析,得到的ZnO纳米颗粒为六角纤锌矿结构,纳米管外径2μm,壁厚150nm。还可选用其它孔径的聚碳酸酯薄膜以及不同的原子层沉积循环数,控制管壁的厚度,以得到不同直径的ZnO纳米管。该方法工艺简单,操作简便,无任何中间产物,可实现工业化生产。
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