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本文介绍了一种用于有源矩阵液晶显示，具有对称结构的ＭＩＭ薄膜二极管，其中Ｔａ２Ｏ５膜采用溅射／阳极氧化两步法制成。实验结果表明，用此法制备的氧化钽膜作绝缘层的ＭＩＭ二极管，具有良好的开关特性，较大的通断比和较好的伏安特性对称性。
用于有源矩阵液晶显示的Ta—Ta2O5—TaMIM薄膜二级管
【摘 要】
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本文介绍了一种用于有源矩阵液晶显示，具有对称结构的ＭＩＭ薄膜二极管，其中Ｔａ２Ｏ５膜采用溅射／阳极氧化两步法制成。实验结果表明，用此法制备的氧化钽膜作绝缘层的ＭＩＭ二极管，具有良好的开关特性，较
【机 构】
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东南大学电子工程系
【出 处】
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真空电子技术
【发表日期】
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1999年1期
【基金项目】
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江苏省应用基础资助
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