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气相色谱法分析高纯气体的几个问题
气相色谱法分析高纯气体的几个问题
来源 :低温与特气 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lynxmao
【摘 要】
:
<正> 前言随着新技木的发展,各领域对高纯气体的品种和质量要求愈来愈高,半导体微电子器件工业,电真空材料加工,各种金属的冶炼和处理,大规模集成电路的研究和生产,色谱等精
【作 者】
:
高增
【机 构】
:
中国科学院大连化学物理研究所
【出 处】
:
低温与特气
【发表日期】
:
1989年03期
【关键词】
:
高纯气体
检测器
气相色谱法
几个问题
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<正> 前言随着新技木的发展,各领域对高纯气体的品种和质量要求愈来愈高,半导体微电子器件工业,电真空材料加工,各种金属的冶炼和处理,大规模集成电路的研究和生产,色谱等精密仪器用的载气、零点气、标准气的制备,金属有机化合物的合成,石油化
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