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为实现现场无损细微缺陷实时Z向测量,进行了一种便携式超景深3D金相显微镜研发。详细阐述了设备的结构设计及理论,并通过测试证明了设备的性能可靠性。本研究为无损观察细微缺陷表观情况、确定缺陷等级以及测量缺陷3D尺寸实现定量分析提供了可靠的依据。
便携式超景深3D显微镜的研究与开发
【摘 要】
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为实现现场无损细微缺陷实时Z向测量,进行了一种便携式超景深3D金相显微镜研发。详细阐述了设备的结构设计及理论,并通过测试证明了设备的性能可靠性。本研究为无损观察细微
【机 构】
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广东省特种设备检测研究院中山检测院,成都励扬精密机电有限公司
【出 处】
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广东化工
【发表日期】
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2020年2期
【基金项目】
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广东省质监局科技项目“3D金相显微镜开发”(编号2018ZT03)
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