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扫描探针显微术（ＳＰＭ）是８０年代初发展起来的一类新型表面研究技术。由于其分辨率高、蝗操作和可扩展性，扫描探针显微术越来越受到人们的重视。１９８６年Ｇ．宾尼希（Ｇ．Ｂｉｎｎｉｇ）和Ｈ．罗雷尔（Ｈ．Ｒｏｈｒｅｒ）为此获得了诺贝尔物理学奖。本文中我们详细阐述扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）、原子力显微镜（ＡＦＭ）、扫描电容是微镜（ＳＯＭ）、扫描热显微镜（ＳＴｈＭ）等几种扫描探针显微术的工作原理，也描述队们在探