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本文介绍了用微波化学气相沉积法,以丙酮、氢体系为研究对象,以 SDA级、毫米级人造金刚石单晶为基体,金刚石(100)、(110)、(111)晶面的气相外延生长的研究,对单晶外延生长条件进行了初步的探讨,使用RED、SEM、MLRS等检测手段,对生长的外延层进行检测。
金刚石薄膜气相外延生长
【摘 要】
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本文介绍了用微波化学气相沉积法,以丙酮、氢体系为研究对象,以 SDA级、毫米级人造金刚石单晶为基体,金刚石(100)、(110)、(111)晶面的气相外延生长的研究,对单晶外延生长条
【机 构】
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郑州磨料磨具磨削研究所,郑州磨料磨具磨削研究所郑州,450007,郑州,450007
【出 处】
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量子电子学
【发表日期】
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1991年2期
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