A new kind of chelating agent with low pH value applied in the TSV CMP slurry

来源 :Journal of Semiconductors | 被引量 : 4次 | 上传用户:iror163
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TSV(through silicon via) is an emerging technology, which can realize micromation compared with the conventional packaging and extend Moores law. Chemical mechanical polishing(CMP) is one of the most important steps in the process of TSV manufacture,
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