【摘 要】
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紫外LED 光源是曝光机使用的一种新型光源,为实现该光源低平行半角、高均匀度的要求,基于经典光学原理,提出了一种阵列式紫外LED 面阵光源系统设计方法.该方法首先通过对单颗
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紫外LED 光源是曝光机使用的一种新型光源,为实现该光源低平行半角、高均匀度的要求,基于经典光学原理,提出了一种阵列式紫外LED 面阵光源系统设计方法.该方法首先通过对单颗LED 灯组的设计,实现每颗灯组发出的光斑在40×40mm 范围内均匀度达90%以上,然后通过阵列以及压缩空气制冷的方式,形成一套高能量、高均匀性的紫外LED 面阵光源系统.光源采用美国ENGIN 紫外LED 灯珠LQI-00UA00-0473,光照面积可达635×533mm,整面均匀度可达85%以上,光照能量≧40
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