【摘 要】
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采用磁控溅射工艺，在PET表面沉积SiO2薄膜，利用SEM观察镀膜的表面形貌，通过附着力测试仪检测SiO2/PET膜基的结合强度，研究基材PET表面清洗工艺对SiO2/PET膜基结合强度的影响。结
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采用磁控溅射工艺，在PET表面沉积SiO2薄膜，利用SEM观察镀膜的表面形貌，通过附着力测试仪检测SiO2/PET膜基的结合强度，研究基材PET表面清洗工艺对SiO2/PET膜基结合强度的影响。结果表明：结合强度因PET基材表面清洗工艺的不同而不同，其中经等离子清洗的膜基结合强度最大，达0.14 MPa，分别较深度清洗、一般清洗和不清洗的膜基结合强度高7.83%,27.27%,55.56%；等离子清洗工艺参数对膜基结合强度有较大影响，随着清洗时间的增加、氩气流量的增大和清洗功率的提高，膜基的结合强度均呈现
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