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纳米电子学是纳米技术的重要科学基础,纳米电子学将成为21世纪信息时代的科学核心,将使未来社会产生重大变革.本文介绍了纳米电子学的基本概念、纳米电子学的产生、纳米电子学的研究内容、纳米器件的基本结构及工作机理、纳米结构的微加工技术、纳米结构的检测与表征、纳米电子学的应用及发展对策.
纳米电子学
【摘 要】
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纳米电子学是纳米技术的重要科学基础,纳米电子学将成为21世纪信息时代的科学核心,将使未来社会产生重大变革.本文介绍了纳米电子学的基本概念、纳米电子学的产生、纳米电子
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二十四研究所
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2004年3期
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