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<正> 在精密联合加工过程中,诸如激光焊接,需要大运动范围,低侧面型材、高刚度,垂直运动的精密定位平台。需要有范围为125μm或者更长的平台以满足待加工零件或者部件公差的要求。为了能快速抑制任何振动干扰,为了能抑制住焊接过程中热产生的力,驱动系统的刚度应该很高。驱动系统还应该用精巧的低侧面型材构件,以使总调准塔台的高度减到最小,因而使系统的刚度达到最大。