论文部分内容阅读
本文阐述了大直径硅单晶的生长、杂质缺陷行为、表面质量控制及硅基材料的研究现状；讨论了应变硅与绝缘体上硅（SOI）相结合的发展趋势；展望了纳米集成电路用大直径硅及硅基材料的技术经济前景。
纳米集成电路用大直径硅与硅基材料的研究进展
【摘 要】
：
本文阐述了大直径硅单晶的生长、杂质缺陷行为、表面质量控制及硅基材料的研究现状；讨论了应变硅与绝缘体上硅（SOI）相结合的发展趋势；展望了纳米集成电路用大直径硅及硅基材料的
【机 构】
：
半导体材料国家工程研究中心
【出 处】
：
功能材料信息
【发表日期】
：
2006年2期
其他文献
１前言怀洪新河某堤段在安徽省香涧湖北岸，是怀洪新河二期土方工程的重点施工堤段。该堤段地基内淤泥及淤泥质土层较厚，强度很低。１９９３年４月，堤防设计部门对该堤段进行补充勘测，并通过稳
本文提出一种分区耦合的方法，将整个基础系统划分为承台、桩土地基（近区）和远区两部分，针对每个区域的几何、材料和载荷的不同特性分别采用半解析有限元和半解析边界元进行模拟然
复合结构纳米材料是指由两种或两种以上物理化学性质截然不同的组分构成的纳米颗粒体系，各成分间具有相互接触的界面。由于复合材料在纳米体系中集成了性能差异明显的不同组分
据美国每日科学网站近日报道，美国科学家研发出一种名为D2PA的人造纳米材料，将这种材料同用来探测疾病的免疫分析方法相结合，能将这种标准的生物学工具的灵敏度提高300万倍。最
水泥－水玻璃在珠江三角洲软土灌浆中的应用程鉴基（中国科学院广州化学研究所，５１０６５０）１前言近几年，住宅区成片开发，层数趋向增加，荷载加大，地基事故发生频率明显增加。有的是由于软弱土层较厚
患者,女,11岁,活动后发绀、气促伴蹲踞10年余.查体:口唇轻微发绀,杵状指、杵状趾,两肺呼吸音清晰、对称,胸骨左缘第3、第4肋间可闻及3～4/Ⅵ级收缩期粗糙杂音,肺动脉瓣区第二心
目的:探讨三维CT牙体表面成像技术对埋伏牙的临床应用价值.方法:对100例埋伏牙的患者作了牙体表面成像CT三维重建的检查,结合横断和冠状二维CT图像以及X线全景片,确定埋伏牙
在Ｂｉｏｔ理论基础上，研究了含单一圆井的饱和多孔地层中，以定流量方式开采时的流固耦合问题。提出了一种解耦方法，求出了耦合的孔隙压力分布和介质应力的解析解。实例计算表明，耦合与非