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采用蒸发沉积结合Ne^+束轰击混合的方法,在GCr15轴承钢底材表面制备了Ni-Mo多层膜,并且利用俄歇电子能 仪、透射电子显微镜和X射线衍射仪等,对Ni-Mo多层膜的元素组成和分布,以及膜层的显微组织形态、相结构和硬度等进行了系统的观察、分析与测量,同时还就这种多层膜的抗磨的特性进行了试验研究。