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针对多晶硅生产系统干法回收氢气排放所带来的物料浪费、“三废”末端处理成本高、污染物排放量大等问题,研究了一种新的方法将需要排放的干法回收氢气再利用。通过气体成分分析、产污分析,总结出回收氢气再利用在多晶硅生产中对环保、安全、成本的巨大作用,并分析了利用该方法带来的经济效益以及对环境带来的积极影响。