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<正>随着高新技术的发展和人们生活水平提高的需求,各种具有特殊性能的薄膜材料层出不穷。真空镀膜技术是制备这些薄膜材料、生产高精尖薄膜产品的的关键技术。近些年来得到了飞速发展,尤其是离子镀膜技术的发展使我国生产出了众多的,优异的薄膜产品。真空镀膜产品涉及太阳能发电、太阳能热水器、节能玻璃、节能光源、半导体芯片、磁盘、光盘、光学器件、敏感元件、防