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本文对以二（乙酰丙酮根）合铜（Ⅱ）和二（三甲基乙酰三氟代丙酮根）合铜（Ⅱ）为母体的化合物，用１０．６μｍ和２８０ｎｍ激光气相沉积法生成铜膜的形态及性能采用探针轮廓仪，扫描电子显微镜和四探针法进行了分析，观察到紫外激光生成铜膜中具有环状周期性图案的现象。
激光化学气相沉积法制备铜膜的性能与形态分析
【摘 要】
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本文对以二（乙酰丙酮根）合铜（Ⅱ）和二（三甲基乙酰三氟代丙酮根）合铜（Ⅱ）为母体的化合物，用１０．６μｍ和２８０ｎｍ激光气相沉积法生成铜膜的形态及性能采用探针轮廓仪，扫描电子显微镜和四探针法进行了分析
【机 构】
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复旦大学激光化学研究所
【出 处】
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量子电子学
【发表日期】
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1995年2期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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