【摘 要】
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利用阴极弧离子镀在Cr12MoV钢表面制备了TiAlCN涂层,通过扫描电镜（SEM）、能量分散光谱法（EDS）、X射线衍射术（XRD）等手段分析了TiAlCN涂层的表面-界面形貌、化学元素分布和物相特性,
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利用阴极弧离子镀在Cr12MoV钢表面制备了TiAlCN涂层,通过扫描电镜（SEM）、能量分散光谱法（EDS）、X射线衍射术（XRD）等手段分析了TiAlCN涂层的表面-界面形貌、化学元素分布和物相特性,并对其界面结合机理进行了探讨。结果表明,Al原子第一电离能低于Ti原子,容易从靶材上气化电离出来沉积在基体上,使得涂层中Al元素含量较高；涂层中TiN、AlN和AlTiN为硬质相,其中涂层中高含量的Al原子有利于提高抗磨损性能,无定形C原子有利于降低摩擦系数；Ti、Al、C、N等原子在涂层中产生富集现象,
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