论文部分内容阅读
基于MEMS技术的光开关是光通信领域实现全光交换的核心器件。针对一种常用的静电扭转驱动光开关，基于流体动力学方程，采用格林函数（Green。sfunction）分析了压膜阻尼系数的解析求解方法，并以流场分析技术进行了气体压强分布仿真，进而求解压膜阻尼，运用解析计算与数值仿真得到的参数进行系统仿真与实验数据比对，证实了建模的准确性。