ELECTRIC FIELD SENSORS BASED ON MEMS TECHNOLOGY

来源 :电子科学学刊：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ztlzp

【摘要】

：

The design and optimization of two types of novel miniature vibrating Electric Field Sensors (EFSs) based on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) technology

【作者】

：

GongChao XiaShanhong DengKai B

【机构】

：

StateKeyLabofTransducerTechnology

【出处】

：

电子科学学刊：英文版

【发表日期】

：

2005年4期

【关键词】

：

电场传感器微机电系统有限元振荡模型 Electric Field Sensor (EFS) MicroElectroMechanical Systems

【基金项目】

：

国家自然科学基金

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The design and optimization of two types of novel miniature vibrating Electric Field Sensors (EFSs) based on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) technology are presented.They have different structures and vibrating modes. The volume is much smaller th

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