基于Arnoldi算法的MEMS微梁的宏建模

来源 :西北工业大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：auh123123

【摘要】

：

微机电系统通常涉及机、电、流体、热等多个耦合能量域,其设计与分析需要通过宏建模来降低复杂度.论文根据系统传递函数矩匹配原理,提出将Arnoldi算法与Taylor展开相结合来实

【作者】

：

吕湘连苑伟政李伟剑霍鹏飞姜澄宇

【机构】

：

西北工业大学

【出处】

：

西北工业大学学报

【发表日期】

：

2005年3期

【关键词】

：

MEMS 宏建模 Arnoldi算法 TAYLOR展开 Algorithms Computer simulation Dynamics Electrostati

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微机电系统通常涉及机、电、流体、热等多个耦合能量域,其设计与分析需要通过宏建模来降低复杂度.论文根据系统传递函数矩匹配原理,提出将Arnoldi算法与Taylor展开相结合来实现MEMS器件行为的宏建模,建立了典型MEMS微梁的宏模型.与有限差分法相对比,该方法可以较准确地实现MEMS器件的快速动态仿真.

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