【摘 要】
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采用原子层沉积(ALD)法对铝合金硫酸阳极氧化膜进行封闭,介绍了其主要工艺流程和参数。通过扫描电镜分析和中性盐雾试验对比了未封孔试样、沸水封闭试样和 ALD 封闭试样的表
【机 构】
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中国电子科技集团公司第三十八研究所
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采用原子层沉积(ALD)法对铝合金硫酸阳极氧化膜进行封闭,介绍了其主要工艺流程和参数。通过扫描电镜分析和中性盐雾试验对比了未封孔试样、沸水封闭试样和 ALD 封闭试样的表面形貌和耐蚀性。沸水封闭只能封闭阳极氧化膜的部分微孔,ALD 封闭则可实现完全封闭。ALD 封闭试样的耐蚀性较沸水封闭试样优,中性盐雾试验 450 h 后表面依旧无腐蚀点出现。
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