二维微动工作台设计及仿真分析

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为消除直梁S形柔性铰链的应力集中,提出了倒角S形柔性铰链,并利用能量法推导了倒角S形柔性铰链的刚度计算公式,分析结构参数对其刚度性能的影响.基于倒角S形柔性铰链和压电堆栈驱动器设计了一种二维微动工作台,应用ANSYS软件对其进行仿真分析.
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