KLA-Tencor宣布推出KronosTM 1080和ICO STM F160检测系统:拓展IC封装产品系列

来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jojo0911216779

【摘要】

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<正>《电子工业专用设备》讯日前KLA-Tencor公司（纳斯达克股票代码:KLAC）宣布推出两款全新缺陷检测产品,旨在解决各类集成电路（IC）所面临的封装挑战。KronosTM 1080系统为先进封

【出处】

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电子工业专用设备

【发表日期】

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2018年05期

【关键词】

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晶圆级封装检测系统 ICO S KLA-Tencor Kronos 产品系列

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<正>《电子工业专用设备》讯日前KLA-Tencor公司（纳斯达克股票代码:KLAC）宣布推出两款全新缺陷检测产品,旨在解决各类集成电路（IC）所面临的封装挑战。Kronos^TM 1080系统为先进封装提供适合量产、高灵敏度的晶圆检测,为工艺控制和材料处置提供关键信息。ICOS^TM F160系统在晶圆切割后对封装进行检查,根据关键缺陷的类型进行准确快速的芯片分类,其中包括对侧壁

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