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文章采用光致发光(PL)测试和X射线光电能谱(XPS)测试相结合的方法,对硫化前后P+型InP的PL光谱以及表面化学成分进行了分析,得到了退火对硫化过的InP表面性能的影响结果;同时得到了S在InP表面所成键的结构以及稳定性随温度的变化的情况.
退火对硫化后的P+型InP表面性能的影响
【摘 要】
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文章采用光致发光(PL)测试和X射线光电能谱(XPS)测试相结合的方法,对硫化前后P+型InP的PL光谱以及表面化学成分进行了分析,得到了退火对硫化过的InP表面性能的影响结果;同时
【机 构】
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中科院上海技术物理研究所红外传感技术国家重点实验室,上海,200083
【出 处】
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首届全国先进焦平面技术研讨会
【发表日期】
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2005年8期
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