【摘 要】
：
硅光栅的制作可以利用湿法腐蚀体硅工艺.湿法腐蚀利用硅的各向异性,由硅的晶面形成光栅工作凹槽,利用湿法工艺可以制作在不同光谱波段内工作的闪耀光栅.设计了一种利用偏晶向
【机 构】
：
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
论文部分内容阅读
硅光栅的制作可以利用湿法腐蚀体硅工艺.湿法腐蚀利用硅的各向异性,由硅的晶面形成光栅工作凹槽,利用湿法工艺可以制作在不同光谱波段内工作的闪耀光栅.设计了一种利用偏晶向(111)硅片制作闪耀光栅的方法,使用这种方法可以批量制作闪耀角度较小的光栅.利用扫描电子显微镜(SEM)进行了光栅表面形貌测试,试验结果表明,制作的硅光栅样片具有良好光学特性的反射表面和光栅槽形.硅闪耀光栅可以被用来制作微型光谱仪、滤光器等微型仪器或器件.
其他文献
采用单轴拉伸法研究了影响土的抗拉强度测试方法的因素,探讨了加荷速度、样品直径、高径比对土的抗拉强度测试值的影响,试验结果表明,样品直径对土的抗拉强度测试结果影响不
演讲稿是一种被大众所熟悉的文本形式。其为演讲者的具体交际活动提供了明晰的大纲和规范,且具备相当的说服性和感染色彩,因而成为一种特定的文本并在不同范围和程度下翻译成
财务会计与税务会计有哪些不同点,本文就二者的定义、会计原则、进行了区分,并结合二者的联系探讨了二者分离的必要性。
What are the differences between financial accou
复合肥料种类繁多,养分含量各不相同.如果选肥正确,施用方法和施用期合理,因施用量不当,也会影响施用效果,怎样计算复合肥合适的用量,下面就复合肥做基肥的正确施用量,举例说
结合相应的工程实例,对筏型基础的特点和施工方法进行了分析和探讨,并通过与其他基础施工方式的对比,对筏型基础在岩土工程中的优势进行了阐述。
目的：分析非小细胞肺癌（NSCLC）患者ERCC1 Asn118Asn，XPD Lys751Gln和XPAA23G各基因型与以铂类为基础的化疗敏感性的关系，以及不同基因型之间疗效及生存期之间的差异。方法：采用聚合
文章从SPOC理念出发,分析江苏联合职业技术学院徐州财经分院五年制高职会计专业网络资源建设的现状,提出依据会计专业群的课程体系,充分发挥SPOC规模小、针对性强、在线的优
目的：探讨手术室护士长实施人性化管理对护理管理与护士能力的影响。方法：回顾性分析2013年5月-2014年5月笔者所在科室对10名护士与45例住院患者进行人性化管理的临床资料,对比
手术室是医院的重要科室,是医院对患者实施手术治疗、检查、诊断并担负抢救工作的重要场所,其洁净度高,无菌要求严格,因此必须配备高素质的护理人员。随着医学模式的转变,护
在钻凿中硬和坚硬的矿岩中,使用有气动的、液压的和液压气动联合的冲击-回转式凿岩机。最广泛使用的是气动凿岩机,它们操作简单,可用于不同类型的钻孔设备,这些气动设备的维