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新世纪国内外多晶硅的新发展
新世纪国内外多晶硅的新发展
来源 :中国金属通报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:troy003
【摘 要】
:
本文综述了国内外半导体级多晶硅的研究、生产、供需和市场的状况,并针对目前国内有些地方在积极筹备建设多晶硅的生产厂,特提出一些建议。
【作 者】
:
蒋荣华
肖顺珍
杨卫东
【机 构】
:
峨眉半导体材料研究所
【出 处】
:
中国金属通报
【发表日期】
:
2004年26期
【关键词】
:
多晶硅
半导体材料
单晶硅
多晶硅生产
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本文综述了国内外半导体级多晶硅的研究、生产、供需和市场的状况,并针对目前国内有些地方在积极筹备建设多晶硅的生产厂,特提出一些建议。
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