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论述了特气的性质及分类,对特气输送系统的主要构成单元:尾气处理器、特气气柜/气架、特气分配箱/分配盘、输送管线和特气监控/侦测系统的功能和用途进行了介绍,为避免特气输送系统出现泄漏,对特气系统日常安全运行管理和特气泄漏应急处理提出了建议。
特种气体输送系统安全运行探讨
【摘 要】
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论述了特气的性质及分类,对特气输送系统的主要构成单元:尾气处理器、特气气柜/气架、特气分配箱/分配盘、输送管线和特气监控/侦测系统的功能和用途进行了介绍,为避免特气输
【机 构】
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深圳方正微电子有限公司
【出 处】
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广州化工
【发表日期】
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2012年11期
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