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扫描电子显微镜结合X射线能谱仪在化学、物理、材料学、生物、医学等领域的应用中,具有非常重要的地位。本文主要介绍了扫描电子显微镜及X射线能谱仪的工作原理、结构特点,并对仪器的维护与使用方面进行了一定的介绍,与广大同行进行探讨。
扫描电子显微镜及X射线能谱仪的原理与维护
【摘 要】
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扫描电子显微镜结合X射线能谱仪在化学、物理、材料学、生物、医学等领域的应用中,具有非常重要的地位。本文主要介绍了扫描电子显微镜及X射线能谱仪的工作原理、结构特点,并
【出 处】
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自动化与仪器仪表
【发表日期】
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2018年03期
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