【摘 要】
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数字集成电路随着工艺制程的提高,可靠性问题逐步凸显,而老化则是可靠性问题的一个重要方面。同时由于数字集成电路被广泛地应用于工业、汽车、航天等领域,对可靠性提出更高
【机 构】
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电子科技大学,中科芯集成电路有限公司
【基金项目】
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自然科学基金项目(61701095)
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数字集成电路随着工艺制程的提高,可靠性问题逐步凸显,而老化则是可靠性问题的一个重要方面。同时由于数字集成电路被广泛地应用于工业、汽车、航天等领域,对可靠性提出更高的要求,因此针对数字集成电路老化监测的技术成为了研究热点。对数字集成电路的老化效应进行了总结,并分析得出先进工艺下需要重点监测的老化效应,对数字集成电路现有老化监测手段进行总结分析,同时对老化监测技术的进一步发展提出了展望。
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