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新型双极性高功率脉冲磁控溅射电源及放电特性研究网络首发

来源 :真空 | 被引量 : 0次 | 上传用户：huanyingchangmaoshou

【作 者】

：

吴厚朴  田钦文  田修波  巩春志 

【出 处】

：

真空

【发表日期】

：

2019年11期

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