多晶硅薄膜光电导特性的研究

来源 :大连理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:guipian110
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通过进一步多晶硅薄膜光电导特性观测到多晶硅薄膜光电导光谱分布曲线在长波区存在一个低幅值的台阶;在短波区出现峰值。由光电导光谱分布曲线确定的多晶硅薄膜平均等效的禁带宽度介于单晶硅与无定型硅的禁带宽度之间,其值的大小与多晶硅晶粒大小有关。实验还观测到与势垒光生伏特效应不同的另一种光生伏特效应,可能和材料及工艺不均匀性有关。
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