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本文通过光学计算设计了具有不同厚度的三倍频增透膜。以氨水为催化剂、正硅酸乙酯（TFOS）为前驱体，通过溶胶-凝胶（Sol-Gel）技术制得SiO2溶胶；采用浸渍提拉法镀膜得到符合设计要求的三倍频增透膜。研究结果表明，增透膜的耐磨擦性能随着膜层厚度的增大而增大．本文制得的厚度达到200nm以上的三倍频增透膜耐磨擦性能显著优于传统的1／4波长三倍频增透膜。此外，本文以甲基含氢硅油为膜表面修饰剂，提出一种全新的超快的表面疏水性改性的方法。经该方法处理后，增透膜由亲水膜转变为疏水膜．对水的接触角从23．4