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高分子材料，如甲基丙烯酸甲酯（polymethyl methacrylate，PMMA），由于其价格相对低廉和容易加工，在集成电路和MEMS研究中受到广泛的关注．本文提出了一种基于PMMA基板的多层同步辐射光刻技术，用于制作微驱动器等有移动部件的设备．设计的多层结构包括140个单元的叉指平行电容器，每个电容器的间隔是2μm，最小尺寸是4μm，厚度是200μm，故深宽比达到50：1．该制造方法具有高深宽比、高产出率及成本低等优点．