高取向度PZT铁电薄膜的研制

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用无机盐替代锆卤,通过Sol=Gel方法,合成均匀、稳定的PZT溶胶。采用Pt/Ti/SiO2/Pi基片加入PT过渡层,经快速热处理制备出沿(100)高度定向的PZT陶瓷薄膜,此薄膜具有良好的铁电性能。
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