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工序粒子计数器水野真人目前，在０．２μｍ超微细膜片加工过程或薄膜晶体管中，４００ｍｍ２的大面积均匀成膜加工工艺，已达到实用化，而表面污染控制技术对产品合格率、质量、可靠性具有直接较大的影响力。仅从粒子来看，曾经竞相建立超净室，由于过程、装置无人化、自...
工序粒子计数器
【摘 要】
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工序粒子计数器水野真人目前，在０．２μｍ超微细膜片加工过程或薄膜晶体管中，４００ｍｍ２的大面积均匀成膜加工工艺，已达到实用化，而表面污染控制技术对产品合格率、质量、可靠性具有直接较大的影响
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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1997年1期
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