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用PHI 600型扫描俄歇探针、200型台阶仪和Q-920型图象分析仪,测定了35Cr Ni3MoV钢、Al-5.5 Zn-1.4Mg合金和Ti-5Al-2.5Sn合金的溅射速率,提出了对蚀坑分部位确定溅射速率的方法。文中给出了详细的测定结果。
固体薄层纵深分析研究：Ⅱ.钢.铝合金和钛合金...
【摘 要】
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用PHI 600型扫描俄歇探针、200型台阶仪和Q-920型图象分析仪,测定了35Cr Ni3MoV钢、Al-5.5 Zn-1.4Mg合金和Ti-5Al-2.5Sn合金的溅射速率,提出了对蚀坑分部位确定溅射速率的方
【机 构】
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机械电子部五二研究所,天津电子材料研究所测试中心工作,天津市55号信箱
【出 处】
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分析化学
【发表日期】
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1990年12期
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