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本文介绍机动球杆系统的基本原理，特点和用途。该系统可几小时内完成机床和半导体制造设备的三维空间误差评估。
机床和半导体制造设备的精密测量技术Ⅰ：利用机动球杆的三维空间误差..
【摘 要】
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本文介绍机动球杆系统的基本原理，特点和用途。该系统可几小时内完成机床和半导体制造设备的三维空间误差评估。
【机 构】
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韩国汉城大学机械设计系
【出 处】
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传感器世界
【发表日期】
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2000年1期
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