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一、引言自从1970年Bergveld将MOS场效应晶体管的金属栅去掉,让绝缘层（SiO2或Si3N4）与溶液相接触,发现它对溶液中Na+,H+能产生响应,从而研制成功了H+、Na+半导体敏感器件（简称ISFET）。并用于生物体内Na+、H+活度的测定。继后引起了许多国内
系列PVC膜离子半导体敏感器件的研制
【摘 要】
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一、引言自从1970年Bergveld将MOS场效应晶体管的金属栅去掉,让绝缘层（SiO2或Si3N4）与溶液相接触,发现它对溶液中Na+,H+能产生响应,从而研制成功了H+、Na+半导体敏感器件（简称IS
【机 构】
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南京大学,常熟半导体器件厂
【出 处】
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化学传感器
【发表日期】
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1986年1期
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