【摘 要】
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扫描电子显微镜在观察材料样品表面形貌领域应用广泛。在日常的实验过程中经常会遇到导电性能不佳的样品,这会产生不同程度的荷电现象,对图像质量以及样品的形貌表征都产生了
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扫描电子显微镜在观察材料样品表面形貌领域应用广泛。在日常的实验过程中经常会遇到导电性能不佳的样品,这会产生不同程度的荷电现象,对图像质量以及样品的形貌表征都产生了极大的影响,时刻困扰着操作人员。为了克服这一问题,通过调整仪器参数设置、选择探测器以及辅助导电等手段,经过实验比对、理论验证,提出了7种方法,这些方法可以减轻或消除荷电效应对图像质量的影响,适用于当今主流的场发射扫描电子显微镜,应用广泛、适用性强。
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