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在机械设备的故障诊断中，频率是最重要的检测对象之一。很多机械设备在正常工作时，机械振动幅度较低，为了更方便、快捷地对设备的振动频率进行检测，根据能量守恒定律，设计了一种特殊的振动测量传感器，该传感器可对微弱的机械振动幅度进行机械放大，传感器顶部是一变极距式可变电容，电容的大小会随着电容器下极板的振动而改变，从而把被测非电量的变化转化为电信号的变化。在硬件处理电路中，采用全差分放大电路对电信号进行二次放大，利用模数转换器对二次放大的模拟信号进行采样。通过软件插补细分算法实现纳秒级精度的时间测量，从而实现高精