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斯托克斯参量可全面描述光束的偏振态,分析了偏振光的斯托克斯参量的意义及其测量方法。通过测量纳米级薄膜样品的入射和反射偏振光的斯托克斯参量,求得椭偏参量和△,然后求得薄膜样品的厚度和折射率。实验表明,该方法适用于任何偏振态的入射和反射偏振光,测量系统构建较容易,测量结果与目前常用的椭偏消光法接近。