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单硅烷（SiH4）作为一种提供硅组分的气体源，可用于制造多种高纯度晶体硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅及金属硅化物，因其高纯度和能够实现精细控制而成为至今为止世界唯一大规模生产粒状高纯硅的中间产物。SiH4的工业合成方法包括硅化镁法、氯硅烷或烷氧基硅烷歧化法、氯硅烷还原法等，重点介绍了用歧化法制备SiH44的工艺，原料可用芳基硅烷、烷氧基硅烷以及氯硅烷等。