论文部分内容阅读
本文根据菲涅尔衍射的原理，在考虑了折射、光刻胶对光的吸收以及硅片对光的反射的情况下，给出了SU-8胶在365nm光源下经过方孔曝光时，光刻胶中光强的二维分布及三维分布的计算模拟．将试验结果与实际情况相比，表现出了一定的适用性，可以近似作为光刻胶形貌的最后近似．
SU-8胶在深紫外光源下的光强分布模拟
【摘 要】
：
本文根据菲涅尔衍射的原理，在考虑了折射、光刻胶对光的吸收以及硅片对光的反射的情况下，给出了SU-8胶在365nm光源下经过方孔曝光时，光刻胶中光强的二维分布及三维分布的计算模
【机 构】
：
东南大学MEMS教育部重点实验室
【出 处】
：
传感技术学报
【发表日期】
：
2006年05A期
【基金项目】
：
国家杰出青年科学基金资助课题（50325519）
其他文献
实现了一种新型的基于硅IC工艺的微波铁氧体集成薄膜变压器．铁氧体薄膜采用射频磁控溅射法制备，SEM观察了SiO2层上铁氧体膜的表面形貌，表明薄膜容易开裂；能谱仪对薄膜成分的分析
介绍了摩托罗拉公司最近推出的低成本新型双向加速度传感器--MMA6260的工作原理,功能,应用及其与MSP430单片机的接口电路,分析了该传感器在检测振动时的特点,给出了在车辆防
本文以VRML2.0为标准,利用VRML建立换热站动态虚拟仿真场景,结合监控组态软件,借助JavaScript实现监控现场实时数据与三维监控画面的交互,以实现换热站智能化监控的目的.
衬底触发技术可以大幅度提高大尺寸NMOS器件的ESD级别。将衬底触发技术融合到层叠式NMOS器件中来产生衬底触发层叠式NMOS器件，理论分析结果表明衬底触发技术可以提高混合电压I
现有涡街流量计传感器系统结构复杂,容易干扰旋涡尾流,需要离线维修和更换,对连续生产过程十分不利.根据涡街流量计的基本原理,提出了在管壁上安装差压传感器,通过检测旋涡发
辨向细分电路在工业控制中有重要的现实意义,根据电路的特点提出了一种用复杂可编程逻辑器件(CPLD)实现辨向细分电路的方法.CPLD是一种具有丰富的可编程I/O引脚的可编程逻辑
利用多模光纤的微弯特性,提出并实现了一种新颖的光纤缠绕式管道形变传感器;也给出了它的基本实验原理.研究表明多模光纤的微弯损耗对导管的变形响应灵敏,其灵敏度可达3.5 dB
采用微加工技术研制了一种以硅为基底材料,具有MEMS结构的氧传感器.阐述了该传感器的工作原理、结构设计、工艺流程以及特性分析.给出了溅射制备TiO2薄膜的方法及锐钛矿型晶
根据图像序列不同类型及运动矢量时间、空间分布特性，针对MPEG4图像压缩提出一种基于模板选择的运动估计快速算法，对剧烈运动，构建了一种非正则六边形搜索模板，对微小运动的图像
石油勘探中需要在线测量泥浆密度的变化,再通过取样分析来判断地下是否含有石油。传统的泥浆池差压式密度计可靠性差,精度不高。文中设计的差压式密度计以微处理器为核心,采