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采用单一的表面改性技术难以提高贫铀钛合金（DU—Ti）的耐蚀性能。采用等离子体浸没离子注入技术依次在DU-Ti合金表面注入N和Ti，再利用非平衡脉冲磁控溅射技术制备多层Ti／TiN，研究了膜层的形貌、结构及耐蚀性能。结果表明：膜层厚约3μm，呈柱状结构，致密，但存在一些微缺陷，膜基结合紧密；膜层出现面心立方结构的TiN和密排六方的Ti，在DU-Ti合金界面形成了少量的UO2，没有铀的氮化物；膜层耐蚀性能较基体得到较大提高；微观缺陷是TiN层局部片状脱落的主要原因，外层TiN出现片状脱落后，注入层和内层Ti