SnO2气敏薄膜在SnO2/Fe2O3双层结构中成核及生长过程的模拟

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用SEM对SnO2/Fe2O3样品的断面结构进行了观察研究,发现SnO2是在Fe2O3柱状结构的间隙中开始生长的,据此提出了双层膜结构生长热力学模型,由模型推出的结论与实验结果吻合。计算结果SnO2在Fe2O3薄膜的间生长速度很快,而逐渐变慢,达到稳定沉积速度,在这种沉上形成SnO2的柱状结构。SnO2膜近种沉使得Fe2O3与其接触面积很大,丙者结合十分牢因。
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