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本文详细分析了工艺条件对铌膜超导转变温度Tc的影响,通过严格控制溅射条件和溅射过程,成功地淀积出室温——液氮电阻比(β值)优于2.2的超导铌膜。
超导铌膜的制备及其性能的研究
【摘 要】
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本文详细分析了工艺条件对铌膜超导转变温度Tc的影响,通过严格控制溅射条件和溅射过程,成功地淀积出室温——液氮电阻比(β值)优于2.2的超导铌膜。
【机 构】
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合肥工业大学
【出 处】
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新技术新工艺
【发表日期】
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1993年04期
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