论文部分内容阅读
为实现气浮直线驱动平台定位误差的精确补偿，对气浮直线驱动平台定位误差的影响因素进行了研究。试验测量了气浮直线驱动平台的定位误差，发现其测量结果中包含有随机误差、时变的热误差以及与位置相关的几何误差。对定位误差进行补偿的前提是根据不同误差的性质准确地将其分离，否则就会存在少补或过补的现象。本文利用统计学的方法求出随机误差的数学期望，对测量数据的均值进行修正，消除随机误差对测量值的影响。进一步对修正后的均值进行多项式拟合，将位置相关的几何误差和时变的热误差分离，并发现时变的热误差对超精密气浮直线驱动平台的定位